分光光度計的穩定性對于長時期的穩定檢測極其重要。分光光度計溫度可控制在一個高精準的±0.1范圍中，由于沒有氣體可對熱控制產生影響，由此此組件可在長期分析中表現出穩定效能。除此之外，由于真空分光光度計通常可維持一個真空的狀態，不會發生污染。即使是長期使用，也不會出現由于污染出現的敏感度降低的現象。

光譜儀的穩定性對于長期測定穩定性而言至關重要。光室溫度精確控制±0.1度的偏差，而且由于沒有外界氣體進入的影響，長期測定中儀器也表現出非常好的穩定性。除此之外，真空光室一直保持真空狀況，不會產生污染，長時間使用的話也不會由于污染產生靈敏度降低的現象。

維護保養：

‌進樣系統‌：每次使用后需用5%硝酸溶液沖洗進樣管，并用氮氣吹干5分鐘；每周檢查蠕動泵管老化情況，及時更換‌。

‌光學系統‌：每月用標準樣品校準，環境溫度需穩定在20-25℃‌。

‌數據管理‌：分析后及時備份數據至電腦，避免儀器故障導致丟失‌。

核心部件維護：

‌霧化器‌：高鹽樣品測定后需酸洗、水洗，并用無水乙醇潤洗‌。

‌炬管‌：積塵或積炭會影響等離子體穩定性，需定期清潔‌。

‌氣體系統‌：檢查氬氣壓力，避免水珠或雜質導致氣流不穩定。

長期停用后處理：

開機前檢查氬氣壓力、排風系統及冷卻水循環‌。

若出現“等離子體熄滅”報錯，需排查功率控制板或前光路系統污染‌。